Giám sát phòng sạch là một khía cạnh quan trọng của các ngành công nghiệp đòi hỏi phải duy trì các điều kiện môi trường nghiêm ngặt, bao gồm Ngành sản xuất chất bán dẫn, Ngành sản xuất pin, Ngành sản xuất dược phẩm và Ngành sản xuất màn hình phẳng.
Hình ảnh: Cubic Sensor and Instrument Co. Ltd
Để đảm bảo tính an toàn và hiệu quả của các sản phẩm được sản xuất trong môi trường phòng sạch, các tổ chức như Tổ chức Tiêu chuẩn hóa Quốc tế (ISO) và các cơ quan quản lý như Cục Quản lý Thực phẩm và Dược phẩm (FDA) tại Hoa Kỳ và Cơ quan Dược phẩm Châu Âu (EMA) tại Châu Âu đã đặt ra một loạt các tiêu chuẩn, bao gồm giám sát liên tục các thông số khác nhau như chất lượng không khí, mức độ hạt, nhiệt độ, độ ẩm và áp suất để đảm bảo thiết kế phòng sạch tuân thủ các tiêu chuẩn vệ sinh nghiêm ngặt. Ví dụ, ISO 14644 chỉ định phân loại độ sạch của không khí trong phòng sạch dựa trên mức độ nồng độ hạt.
Nhận ra tầm quan trọng của việc giám sát phòng sạch, Cubic , một nhà sản xuất cảm biến khí và máy phân tích khí, đã phát triển nhiều sản phẩm cảm biến khí dựa trên công nghệ quang học cốt lõi tiên tiến của mình để cung cấp các giải pháp cảm biến khí đáng tin cậy cho việc giám sát chất lượng không khí môi trường, giám sát quy trình và giám sát an toàn trong phòng sạch.
Giải pháp giám sát quy trình sản xuất chất bán dẫn
Trong ngành sản xuất chất bán dẫn, để giảm thiểu tổn thất năng suất, các nhà máy chế tạo chất bán dẫn (nhà máy sản xuất chất bán dẫn) cần áp dụng các chiến lược kiểm soát ô nhiễm nghiêm ngặt trong phòng sạch. Thông thường, vật chất dạng hạt là một trong những nguồn chính gây ô nhiễm vi mô trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, cần được theo dõi liên tục.
Để giúp các nhà máy chế tạo chất bán dẫn (nhà máy sản xuất chất bán dẫn) liên tục theo dõi các hạt vật chất để duy trì mức thấp các hạt lơ lửng trong không khí trong phòng sạch, Cubic đã cung cấp các máy đếm hạt quang học đáng tin cậy dựa trên công nghệ tán xạ ánh sáng, Dòng OPC-6303 và Dòng OPC-6510 , giúp phát hiện chính xác các hạt có nhiều kích thước khác nhau trong một đơn vị thể tích không khí. Với mô-đun cảm biến máy đếm hạt Laser độc đáo tích hợp sẵn, quạt RPM ổn định và cảm biến lưu lượng siêu âm được thiết kế tốt, dòng OPC-6510 và dòng OPC-6303 có thể cung cấp lưu lượng ổn định và cao với tốc độ lấy mẫu khí 28,3L/phút, cho phép tuân thủ yêu cầu ISO 21501-4. Máy đếm hạt quang trực tuyến Cubic có thể đồng thời xuất ra số lượng hạt của 5 kênh 0,3μm, 0,5μm, 1,0μm, 5,0μm, 10μm theo đơn vị pcs/28,3L hoặc pcs/m³ và hỗ trợ hoạt động 24/7 để đảm bảo giám sát hạt ổn định và liên tục. Hơn nữa, dòng máy đếm hạt quang trực tuyến Cubic có thể đạt được truyền dữ liệu giám sát trực tuyến dựa trên giao tiếp RS485 ModBus và MQTT, có thể được tích hợp thêm vào hệ thống lọc để duy trì ô nhiễm hạt trong môi trường phòng sạch trong phạm vi nồng độ thấp nhất định.
Hơn nữa, để nhận ra cảnh báo an toàn kịp thời trong quá trình sản xuất của ngành công nghiệp bán dẫn, Cubic cũng đã thiết kế cảm biến độ ẩm vết và cảm biến oxy dựa trên công nghệ TDLAS để đo hàm lượng vết trong khí có độ tinh khiết cực cao với tính chọn lọc cao, độ chính xác cao và độ tin cậy tuyệt vời.
Giải pháp giám sát ô nhiễm sản xuất pin Li-
Những câu chuyện liên quan
- Máy đếm hạt quang học không khí Cubic
Trong sản xuất pin lithium-ion, đặc biệt là trong quá trình chuẩn bị vật liệu điện cực và lắp ráp pin, việc kiểm soát ô nhiễm hạt trong không khí là rất quan trọng để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm pin.
Các tiêu chuẩn quy định như ISO 14644 thiết lập các tiêu chí để phân loại độ sạch của không khí trong môi trường được kiểm soát. Trong bối cảnh sản xuất pin EV, việc đạt được ISO Class 5 trở lên thường là bắt buộc do các thành phần pin dễ bị nhiễm bẩn.
Để giúp theo dõi và kiểm soát ô nhiễm trong quá trình chế tạo pin, Cubic đã thiết kế Máy đếm hạt 2,83LPM OPC-6303 Series và Máy đếm hạt 28,3LPM OPC-6510 Series dựa trên công nghệ tán xạ ánh sáng cốt lõi của mình.
Các tính năng đáng chú ý của máy đếm hạt quang học trực tuyến Cubic:
- Số lượng hạt đầu ra trong 5 kênh/6 kênh (0,3μm, 0,5μm, 1,0μm, 2,5μm, 5,0μm, 10μm)
- Laser tuyến tính công nghiệp công suất cao tích hợp, nhận dạng chính xác
- Cảm biến lưu lượng khí siêu âm tích hợp, lấy mẫu lưu lượng ổn định và liên tục
- Giao thức truyền thông ModBus RS485 và MQTT có sẵn
- Giám sát liên tục trực tuyến 24/7
Hơn nữa, để đảm bảo an toàn trong quá trình sản xuất pin Li, điều cần thiết là phải thực hiện các biện pháp hiệu quả để ngăn ngừa rò rỉ chất điện phân hoặc hiện tượng mất nhiệt.
Cubic đã thiết kế máy dò rò rỉ khí NMP Gasboard-2063 và máy dò rò rỉ chất điện phân AM4210. Gasboard-2063 có các đặc điểm là phản ứng nhanh, độ nhạy cao, tuổi thọ cao, tự hiệu chuẩn điểm không và không cần bảo trì. Nó cũng đáp ứng các yêu cầu của chứng nhận chống cháy nổ ExdⅡCT3 và đáp ứng nhu cầu ứng dụng giám sát rò rỉ nồng độ NMP của máy phủ pin lithium. Máy dò rò rỉ chất điện phân cầm tay AM4210 do Cubic tự phát triển được thiết kế với màn hình LCD TFT, không chỉ có thể phát hiện các điểm rò rỉ mà còn có thể phân tích định lượng nồng độ rò rỉ trong môi trường hiện tại và trình bày dữ liệu nồng độ hiện tại.
Giải pháp giám sát môi trường sản xuất dược phẩm
Tại các cơ sở sản xuất dược phẩm, việc kiểm soát các hạt trong không khí là điều cần thiết để đảm bảo độ tinh khiết và an toàn của các sản phẩm dược phẩm.
Máy đếm hạt Cubic 2,83LPM OPC-6303 Series và Máy đếm hạt OPC-6510 Series 28,3LPM có thể được sử dụng để giám sát điều kiện môi trường trong phòng sạch của khu vực sản xuất và cơ sở lưu trữ, đáp ứng các yêu cầu quy định về giám sát và kiểm soát mức độ hạt trong không khí. Bằng cách giám sát nồng độ hạt và phân bố kích thước, các nhà sản xuất dược phẩm có thể thực hiện các biện pháp hiệu quả để giảm thiểu rủi ro nhiễm bẩn sản phẩm và duy trì chất lượng sản phẩm trong suốt quá trình sản xuất dược phẩm.
Đồng thời, để đảm bảo sản xuất các sản phẩm dược phẩm chất lượng cao, Cubic cũng thiết kế cảm biến độ ẩm vết và cảm biến oxy dựa trên công nghệ TDLAS để đo lượng oxy vết và độ ẩm vết trong khí có độ tinh khiết cực cao nhằm ngăn ngừa ô nhiễm hàm lượng vết trên các sản phẩm dược phẩm.
Giải pháp giám sát quy trình sản xuất màn hình phẳng
Sản xuất màn hình phẳng (FPD) bao gồm việc sản xuất nhiều loại màn hình khác nhau như màn hình tinh thể lỏng (LCD), màn hình điốt phát quang hữu cơ (OLED) và các loại màn hình khác, đòi hỏi quy trình sản xuất phải chính xác và sạch sẽ để đảm bảo sản phẩm chất lượng cao.
Phòng sạch cho sản xuất FPD phải được thiết kế để giảm thiểu mức độ hạt và kiểm soát nguồn cung cấp không khí đã lọc bằng cách theo dõi nhiệt độ, độ ẩm và áp suất.
Để đạt được mục tiêu giám sát quy trình môi trường, Cubic đã thiết kế Máy đếm hạt 2,83LPM OPC-6303 Series và Máy đếm hạt 28,3LPM OPC-6510 Series , dựa trên công nghệ tán xạ ánh sáng cốt lõi để giám sát mức độ hạt, đồng thời sử dụng cảm biến CO2 tích hợp và bộ điều khiển AM6108B để giám sát nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch sản xuất FPD.
